在靜電放電試驗的標(biāo)準(zhǔn)中，IEC1000-4-2標(biāo)準(zhǔn)確定的靜電放電的上升時間tr為0.7ns至1ns，這相當(dāng)于一個頻率達(dá)350MHz至500MHz以上的高頻信號。要準(zhǔn)確測量如此高速上升的波形，要必須認(rèn)真考慮靜電放電發(fā)生器電流校準(zhǔn)中示波器的選擇及其校準(zhǔn)標(biāo)靶的選用。
我們結(jié)合國際通行的靜電放電(ESD，Electro-StaticDischarge)模型，簡要討論下ESD試驗中如何正確選用靜電放電發(fā)生器電流校準(zhǔn)中示波器的選擇來觀測我們的電流波形。
靜電放電發(fā)生器電流校準(zhǔn)中示波器的選擇1、示波器的帶寬與采樣率
我國現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 17626.2-2018 是等同采用IEC61000-4-2（2008年）標(biāo)準(zhǔn)，JJF 30801靜電放電發(fā)生器校準(zhǔn)規(guī)范也是按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)要求編寫的。這標(biāo)準(zhǔn)的6.2條靜電放電發(fā)生器特性的校驗中規(guī)定“放電電流的特性參數(shù)應(yīng)使用1GHz帶寬的測量儀器進(jìn)行驗證”，在1397 靜電校準(zhǔn)規(guī)范中的提到要用2G帶寬的示波器進(jìn)行波形驗證。
靜電放電發(fā)生器電流校準(zhǔn)中示波器的選擇2、上升時間與示波器帶寬之間的關(guān)系
上升時間是靜電放電電流*重要的參數(shù)，主要由放電回路的分布參數(shù)決定，包括充電電容、放電電阻及連接導(dǎo)線的分布電感、導(dǎo)線及放電對象與參考地之間的分布電容等。接入示波器測量回路后，除測量回路分布參數(shù)對測量有較大影響外，示波器的帶寬對上升時間的測量準(zhǔn)確度以及整個波形形狀的影響也是不可忽視的。
通過以上兩點(diǎn)，我們已知的是1G以上的示波器是肯定可以符合JJF 30801靜電放電發(fā)生器校準(zhǔn)規(guī)范要求的，目前市面上也有很多1G以上的示波器可供挑選，我們在此過多的枚舉了。
現(xiàn)在新一代的示波器內(nèi)部結(jié)構(gòu)都采用了并行處理方式，所以有更快的波形處理能力和快速的波形捕獲率，兼有模擬示波器和普通DSO示波器的優(yōu)點(diǎn)，集成了模擬示波器的余輝功能和數(shù)字存儲示波器的實時采樣功能，上升時間也達(dá)到了≤0.7ns的水平。
在整個靜電的測試過程中，電流信號的上升時間是非常短的，一般在0.8ns左右，由以上公式可得出測試所用的數(shù)字存儲示波器的*低帶寬是500MHz。根據(jù)這個帶寬，使用我司提供的NDS4502示波器配上相應(yīng)的靜電放電電流校準(zhǔn)標(biāo)靶ESD-BX和靜電放電電流校準(zhǔn)平板即可校準(zhǔn)靜電放電發(fā)生器的電流波形了。
由于所測試的ESD信號是非周期的單次信號，對數(shù)字存儲示波器的正確設(shè)置從而有效抓取靜電放電波形非常重要。靜電放電發(fā)生器電流校準(zhǔn)中示波器的選擇我們提供的500M示波器NDS4502的設(shè)置參考如下：
(1) 垂直系統(tǒng)選電流檔，設(shè)置正確的倍率;
(2) 水平系統(tǒng)設(shè)置為20nS/div~50nS/div;
(3) 觸發(fā)模式設(shè)為單次觸發(fā)，觸發(fā)類型設(shè)為上升沿;
(4) 為了能細(xì)致研究波形，則將所測試波形存儲在示波器內(nèi)存中。
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